@phdthesis{Wolf2018,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Marcel Wolf},
  title     = {Laserpulsabscheidung und Charakterisierung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten unter Variation einflussnehmender Prozessparameter},
  year      = {2018},
  abstract  = {Im Rahmen der Masterarbeit wurden Beschichtungsversuche zur Erzeugung von superharten Kohlenstoffschichten, unter Variation einflussnehmender Prozessparameter durchgef{\"u}hrt, um den Einfluss dieser auf das Beschichtungsergebnis zu evaluieren. Die Experimente wurden mit einem Eximerlaser der Firma Coherent durchgef{\"u}hrt. Es wurden Kohlenstoffschichten erzeugt und anschlie{\"s}end mit verschiedenen Analysemethoden charakterisiert, um Erkenntnisse hin-sichtlich der Schichtzusammensetzung zu gewinnen. Im Vordergrund standen hierbei die Schichth{\"a}rte, sowie die Ergebnisse aus den resultierenden Ramanspektren der Schichten, um Zusammenh{\"a}nge zwischen den variierten Prozessparametern und resultierenden Schichtcharakteristika aufzuzeigen.},
  language  = {de}
}