@phdthesis{Wendler2014,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Lars Wendler},
  title     = {Laserprozessoptimierung zum hochdynamischen Abtragen d{\"u}nner Schichten},
  year      = {2014},
  abstract  = {Die Masterarbeit leistet einen Beitrag zur Effizienzsteigerung des Laserabtragsprozesses zur sicheren elektrischen Trennung des P1 – Strukturierungsgrabens einer D{\"u}nnschichtsolarzelle. Die Strukturierung des P1 Grabens bildet einen Teilprozess der seriellen Verschaltung von D{\"u}nnschichtsolarzellen. Entgegen dem Stand der Technik wird der Abtrag von der Schichtseite realisiert. Anhand der Darstellung der Anforderungen an die Strukturierung werden vergleichend ein Nanosekunden- und ein Pikosekundenlaser auf Eignung untersucht.},
  language  = {de}
}