TY  - CPAPER
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Brüning, Stephan
A1  - Du, Keming
A1  - Gillner, Arnold
T1  - Großflächige ultraschnelle Mikrobearbeitung mit multiplen Laserspots
T2  - 12. Mittweidaer Lasertagung
N2  - Ultrakurzpuls-Laser haben sich in den vergangenen Jahren weit verbreitet, um hochpräzise Mikrostrukturen direkt in nahezu jedem Material zu realisieren. Trotz der derzeitigen Verfügbarkeit von UKP-Hochleistungslasern (bis zu mehreren hundert Watt) ist es immer noch eine Herausforderung, große Flächen, wie sie für Prägezylinder für Rolle-zu-Rolle Anwendungen benötigt werden, in einer für die industrielle Produktion akzeptablen Bearbeitungszeit zu strukturieren. In diesem Beitrag wurde ein hochkompakter ps-Laser mit Repetitionsraten von bis zu 8 MHz und einer mittleren Leistung von 500 W durch ein diffraktives optisches Element (DOE) auf 16 parallele Strahlen verteilt. Die Leistung wurde durch einen akusto-optischen Modulator pro Strahl moduliert.
Integriert in ein ultrahochpräzises Zylindergravursystem wurden die 16 Spots mit einer Genauigkeit von < 1 μm synchronisiert. Auf der Zylinderoberfläche wurden in einem Spot-zu-Spot Abstand von 20 μm Einzelspotdurchmesser von 13 μm erreicht. Verschiedene funktionale Mikrostrukturen wurden als Master realisiert.
KW  - Nanoprägen
KW  - Tiefdruck
KW  - Ultrakurzzeitlaser
KW  - Diffraktives optisches Element
KW  - Akustooptischer Modulator
KW  - Multi Spot Processing
KW  - 3D Mikrostrukturen
KW  - Oberflächenfunktionalisierung
KW  - Rolle zu Rolle Prägung
Y1  - 2021
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-128561
SN  - 1437-7624
SS  - 1437-7624
U6  - https://doi.org/10.48446/opus-12856
DO  - https://doi.org/10.48446/opus-12856
IS  - 003
SP  - 048
EP  - 055
S1  - 8
PB  - Hochschule Mittweida
CY  - Mittweida
ER  -