@misc{Neumann2011,
  author    = {Lukas Neumann},
  title     = {Entwurf und prototypische Implementierung einer Analyse-Software f{\"u}r Massen-Messdaten f{\"u}r die Halbleiterfertigung},
  institution = {03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik},
  year        = {2011},
}