@phdthesis{Weinberger,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {David Weinberger},
  title     = {Polysilizium-Heaterstrukturen f{\"u}r den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverl{\"a}ssigkeitstests auf Waferebene},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-19743},
  abstract  = {nicht vorhanden},
  language  = {de}
}