@phdthesis{Haldan2014,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {David Haldan},
  title     = {Untersuchung und Erzeugung ultranano- und nanokristalliner Diamantschichten mittels Laser- Puls-Abscheidung in Wasserstoff- und Sauerstoffatmosph{\"a}re},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-55128},
  year      = {2014},
  abstract  = {Der vorliegende Bericht befasst sich mit der Erzeugung und der Entwicklung von ultranano- bzw. nanokristalliner Diamantschichten mittels Puls-Laser-Abscheidung unter Verwendung der Prozessgase Sauerstoff und Wasserstoff. Der Laserstrahl trifft w{\"a}hrend des Prozesses auf ein Graphittarget wodurch Kohlenstoffatome ablatiert werden. Ablatierte Ione werden je nach Hybridisierung durch die Prozessgase ge{\"a}tzt oder auf dem Substrat abgeschieden. Die Charakterisierung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Oberfl{\"a}chenmorphologie und Raman-Spektren. Damit lassen die abgeschiedenen Kohlenstoffmodifikationen unterscheiden, was zur Eingrenzung des Parameterfensters f{\"u}hrt in denen sich ultrananokristalliner Diamantschichten erzeugen lassen. Speziell das Ver{\"a}ndern der Kristallitgr{\"o}{\"s}e der Diamantpartikel durch die Verwendung eines Filamentes die Benutzung von NCD und MCD Haftschichtenschichten, die Verwendung einer nanokristallinen Diamantsuspension und der {\"A}nderung der Teilchendichte soll dadurch beeinflusst werden.},
  language  = {de}
}