@phdthesis{Wagner,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Tino Wagner},
  title     = {Experimentelle Untersuchung zur Mikrostrukturierung von d{\"u}nnen Metallschichten mit hochrepetierender Ultrakurz-puls-Laserstrahlung},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-67899},
  abstract  = {Um die Vorteile eines hochrepetierenden Ultrakurzpulslasers zur Strukturierung von d{\"u}nnen Metallschichten nutzten zu k{\"o}nnen, sind Kenntnisse {\"u}ber den Einfluss der verschiedenen Parameter notwendig. Deshalb wurden der Einfluss des Pulsabstands, der Frequenz und des Linienabstands, auf das Ablationsverhalten von d{\"u}nnen Metallschichten untersucht. Es wurden die Schichtmaterialien Chrom, Aluminium, Kupfer und Titan aus-gew{\"a}hlt, deren Schichtdicken sich in einem Bereich von 0,02 μm bis 0,5 μm bewegen. Die Untersuchungen der Einflussnahme des Pulsabstandes wurden bei einer Frequenz von 32 kHz durchgef{\"u}hrt. Es konnte gezeigt werden, dass sich die Spurbreite bei kleiner werdendem Pulsabstand, bei fast allen Schichtmaterialien vergr{\"o}{\"s}erte. Belegt wurde dabei, dass bei dieser Frequenz nicht bei allen Schichten ein sauberer Abtrag, bis auf das Substrat, realisiert werden konnte. Dazu wurde als n{\"a}chstes die Frequenz variiert. Es konnte festgestellt werden, dass bei Erh{\"o}hung der Frequenz, die Spurbreite nur bei Aluminium und Kupfer, merklich zunahm. Dabei zeigte sich, dass bei Chrom, mit h{\"o}heren Frequenzen als 200 kHz, sich Risse im Substrat bilden. Anschlie{\"s}end wurden mit geeigneten Pa-rametern die Auswirkungen des Linienabstandes untersucht. Dabei konnte festgestellt werden, dass der Abstand zwischen zwei Linien sich nicht auf die Breite der Einzellinie auswirkt. Die Fl{\"a}chenabtragsrate war bei Titan am gr{\"o}{\"s}ten, was auf die sehr geringe Schichtdicke und der geringen W{\"a}rmeleitung von Titan zur{\"u}ckzuf{\"u}hren ist.},
  language  = {de}
}