@phdthesis{Mueller2013,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Mathias M{\"u}ller},
  title     = {Untersuchungen zur Mikrostrukturierung eines spintronischen Nanometerschichtstapels mittels Femtosekundenlaser},
  year      = {2013},
  abstract  = {Inhalt dieser Arbeit sind grundlegende Untersuchungen zur Mikrostrukturierung und zum Ablationsverlauf eines spintronischen Nanometerschichtstapels mittels Femtosekundenlaserstrahlung. Die Abtragsergebnisse werden mittels Rasterelektronenmikroskop und Rasterkraft-Mikroskopie evaluiert. Der Einfluss der eingestrahlten Fluenz und des Bestrahlungsregimes auf den Materialabtrag werden untersucht. Ziel ist es, Strukturen im einstelligen Mikrometerbereich in den Schichtstapel einzubringen},
  language  = {de}
}