TY - GEN U1 - Sonstiges A1 - Nerger, Silvio T1 - Ermittlung und Optimierung von elektrischen, geometrischen und technologischen Parametern der ION´X Planar Magnetron Sputtering Cathode IX5 91xx in der Laborzerstäubungsanlage MSBA-400 für Aluminium, Silizium und Siliziumdioxid N2 - nicht vorhanden KW - Sputtern Y1 - 2010 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-25396 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-25396 ER -