TY  - THES
U1  - Master Thesis
A1  - Haldan, David
T1  - Untersuchung und Erzeugung
ultranano- und nanokristalliner
Diamantschichten mittels Laser-
Puls-Abscheidung in Wasserstoff- und
Sauerstoffatmosphäre
N2  - Der vorliegende Bericht befasst sich mit der Erzeugung und der Entwicklung von ultranano- bzw. nanokristalliner Diamantschichten mittels Puls-Laser-Abscheidung unter Verwendung der Prozessgase Sauerstoff und Wasserstoff. Der Laserstrahl trifft während des Prozesses auf ein Graphittarget wodurch Kohlenstoffatome ablatiert werden. Ablatierte Ione werden je nach Hybridisierung durch die Prozessgase geätzt oder auf dem Substrat abgeschieden. Die Charakterisierung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Oberflächenmorphologie und Raman-Spektren. Damit lassen die abgeschiedenen Kohlenstoffmodifikationen
unterscheiden, was zur Eingrenzung des Parameterfensters führt in denen sich ultrananokristalliner Diamantschichten erzeugen lassen. Speziell das Verändern
der Kristallitgröße der Diamantpartikel durch die Verwendung eines Filamentes
die Benutzung von NCD und MCD Haftschichtenschichten, die Verwendung einer
nanokristallinen Diamantsuspension und der Änderung der Teilchendichte soll dadurch
beeinflusst werden.
KW  - Laserimpuls , Laserbeschichten , Impulslaserbeschichten , Nanostruktur , Diamant , Dünne Schicht
Y2  - 2014
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-55128
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-55128
ER  -