TY - THES U1 - Master Thesis A1 - Uhle, Holger T1 - Geometrische und mikrostrukturelle Bewertung von strukturierten Sägedrähten zur Herstellung von Siliziumwafern N2 - In der vorliegenden Masterarbeit wird ein Messaufbau entwickelt, der es ermöglicht,einen mit zwei verschiedenen sinusförmigen Wellenmustern geprägten Draht in einem Messsystem gemeinsam mit einer Kraftmessdose einzuspannen. Weiterhin wird ein Python-Programm erstellt, dass es ermöglicht die Messdaten vollautomatisch auszuwerten und den Drahtdurchmesser sowie die bei der Prägung eingebrachten Wellenlängen und Amplituden zu bestimmen. Der Durchmesser wird durch eine Näherung von Kreisen an Querschnitte des Drahts bestimmt. Die Parameter der Sinusfunktionen berechnet eine Fourieranalyse in zwei Ebenen über die Mittelpunkte der Kreise. Abschließend wird das Programm mit simulierten Daten getestet und eine Messreihe ausgewertet, die das Verhalten der Parameter des Drahts bei unterschiedlichen Zugkräften analysiert. KW - Messung , Silicium , Wafer , Drahtsäge Y2 - 2014 ER -