TY  - GEN
U1  - Sonstiges
A1  - Bertram, René
T1  - Fluorlaser-Mikrobearbeitung von ausgewählten  Materialien
N2  - nicht vorhanden
KW  - Lithographie <Halbleitertechnologie>
KW  - Fluorlaser
Y1  - 2009
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-592
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-592
ER  -