TY  - THES
U1  - Master Thesis
A1  - Kratsch, Alexander
T1  - Berechnung und Untersuchung von diffraktiven und refraktiven optischen Elementen zur Führung und Formung von Femtosekunden-Laserstrahlung im Zuge der Maskenprojektion
N2  - In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion möglich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zusätzlich werden erste Abtragsversuche durchgeführt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden.
KW  - Femtosekundenlaser
KW  - Strahlformung
Y2  - 2013
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949
ER  -