TY - THES A1 - Schille, Marco T1 - Technologieentwicklung für die Polyimidbeschichtung von Piezo-Stacks N2 - nicht vorhanden KW - Beschichtung KW - Polyimide Y1 - 2012 UR - https://monami.hs-mittweida.de/frontdoor/index/index/docId/4869 UR - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-49386 ER -