@phdthesis{Maus2013,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Johannes Maus},
  title     = {Laserpulsabscheidung von metallischen Schichtstapeln f{\"u}r spintronische Anwendungen},
  year      = {2013},
  abstract  = {In dieser Arbeit werden die Ergebnisse von grundlegenden Untersuchungen zur Erzeugung von metallischen Schichten und Nanometerschichtstapeln mittels Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) vorgestellt. F{\"u}r die Erzeugung des schichtbildenden Teilchenstromes durch Ablation der Festk{\"o}rpertargets wurde ein KrF-Excimerlaser mit einer Wellenl{\"a}nge von 248 nm verwendet. Durch Variation der Abscheidungsparameter Laserpulsfluenz und Laserstrahlquerschnitt wurden die Oberfl{\"a}cheneigenschaften von d{\"u}nnen Metallschichten f{\"u}r die Erzeugung von spintronischen Schichtstapeln optimiert. Die Abh{\"a}ngigkeit der materialspezifischen Schichteigenschaften Abtragsrate pro Laserpuls, Schichtaufwachsrate, Oberfl{\"a}chenrauigkeit, Partikulatfl{\"a}chendichte, Schichtdickenverteilung, Schichtdickenhomogenit{\"a}t und Mikrostruktur von den Abscheidungsparametern werden vorgestellt. Unter Nutzung der optimierten Prozessparameter konnten spintronische Metallschichtstapel hergestellt werden. F{\"u}r die Verbesserung der Schichtdickenhomogenit{\"a}t von laserpulsablatierten Schichten wurde ein xy-Substrat-bewegungssystem konzipiert und dessen technische Realisierung verwirklicht.},
  language  = {de}
}