@phdthesis{Kratsch, type = {Bachelor Thesis}, author = {Alexander Kratsch}, title = {Gl{\"a}tten von Mikrostrukturen in Quarzglas mittels CO2-Laser}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-18500}, abstract = {In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Gl{\"a}ttung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfl{\"a}che durch die Verwendung von Laserstrahlung m{\"o}glich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen}, language = {de} }