@phdthesis{Stuelpner,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Ronny St{\"u}lpner},
  title     = {Abscheidung von Aluminiumoxid in einer PVD-Anlage zur Verbesserung des Korrosionsschutzes eines gegebenen Schichtsystems},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-8031},
  abstract  = {Ziel dieser Arbeit ist es, ein Verfahren zur Abscheidung einer Metalloxidschicht zu entwickeln. Dadurch soll ein bestehendes Schichtsystem hinsichtlich seiner chemischen Belastbarkeit und besonders seiner Korrosionsbest{\"a}ndigkeit eine Verbesserung erfahren. Besonderes Augenmerk wird in dieser Arbeit darauf gelegt, dass die Abscheidung aus der Dampfphase bzw. unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas erfolgen soll und der Anspruch als umweltfreundliches Verfahren erf{\"u}llt wird. Unter Ber{\"u}cksichtigung dieser Tatsachen wird zun{\"a}chst das bestehende Schichtsystem analysiert. Danach werden Abscheidungsm{\"o}glichkeiten einer Metalloxidschicht aufgezeigt. Zum Schluss erfolgt die Beschreibung und Auswertung der Abscheidungsmethoden.},
  language  = {de}
}