TY  - THES
U1  - Bachelor Thesis
A1  - Stülpner, Ronny
T1  - Abscheidung von Aluminiumoxid in einer PVD-Anlage zur Verbesserung des Korrosionsschutzes eines gegebenen Schichtsystems
N2  - Ziel dieser Arbeit ist es, ein Verfahren zur Abscheidung einer Metalloxidschicht zu entwickeln. Dadurch soll ein bestehendes Schichtsystem hinsichtlich seiner chemischen Belastbarkeit und besonders seiner Korrosionsbeständigkeit eine Verbesserung erfahren. Besonderes Augenmerk wird in dieser Arbeit darauf gelegt, dass die Abscheidung aus der Dampfphase bzw. unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas erfolgen soll und der Anspruch als umweltfreundliches Verfahren erfüllt wird. Unter Berücksichtigung dieser Tatsachen wird zunächst das bestehende Schichtsystem analysiert. Danach werden Abscheidungsmöglichkeiten einer Metalloxidschicht aufgezeigt. Zum Schluss erfolgt die Beschreibung und Auswertung der Abscheidungsmethoden.
KW  - Aluminiumoxide
KW  - Dünne Schicht
KW  - PVD-Verfahren
Y2  - 2009
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-8031
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-8031
ER  -