@phdthesis{Pflug2017, type = {Master Thesis}, author = {Theo Pflug}, title = {Untersuchungen zur ultraschnellen Ellipsometrie von Laserprozessen}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328}, year = {2017}, abstract = {Diese Arbeit stellt die Konstruktion, den Aufbau und die Kalibrierung eines automatisierten Pump-Probe-Aufbaus dar, mit dem {\"o}rtlich, zeitlich und spektroskopisch aufgel{\"o}ste Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie m{\"o}glich ist. Zur Validierung werden die Ergebnisse des Pump-Probe-Ellipsometers f{\"u}r Brechzahl, Extinktionskoeffizient und Schichtdicke eines Materials bei Raumtemperatur mit den Ergebnissen eines kommerziellen Ellipsometers verglichen. ErsteMessungen der Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie werden durchgef{\"u}hrt und die Ergebnisse diskutiert.}, language = {de} }