TY - THES U1 - Master Thesis A1 - Pflug, Theo T1 - Untersuchungen zur ultraschnellen Ellipsometrie von Laserprozessen N2 - Diese Arbeit stellt die Konstruktion, den Aufbau und die Kalibrierung eines automatisierten Pump-Probe-Aufbaus dar, mit dem örtlich, zeitlich und spektroskopisch aufgelöste Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie möglich ist. Zur Validierung werden die Ergebnisse des Pump-Probe-Ellipsometers für Brechzahl, Extinktionskoeffizient und Schichtdicke eines Materials bei Raumtemperatur mit den Ergebnissen eines kommerziellen Ellipsometers verglichen. ErsteMessungen der Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie werden durchgeführt und die Ergebnisse diskutiert. KW - Ellipsometrie Y2 - 2017 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328 ER -