TY - THES U1 - Master Thesis A1 - Müller, Mathias T1 - Untersuchungen zur Mikrostrukturierung eines spintronischen Nanometerschichtstapels mittels Femtosekundenlaser N2 - Inhalt dieser Arbeit sind grundlegende Untersuchungen zur Mikrostrukturierung und zum Ablationsverlauf eines spintronischen Nanometerschichtstapels mittels Femtosekundenlaserstrahlung. Die Abtragsergebnisse werden mittels Rasterelektronenmikroskop und Rasterkraft-Mikroskopie evaluiert. Der Einfluss der eingestrahlten Fluenz und des Bestrahlungsregimes auf den Materialabtrag werden untersucht. Ziel ist es, Strukturen im einstelligen Mikrometerbereich in den Schichtstapel einzubringen KW - Laser , Laserbearbeitung , Femtosekundenlaser Y2 - 2013 ER -