TY  - GEN
U1  - Sonstiges
A1  - Abdeen, Oliver
T1  - Maskenentwurf parametrisierbarer optoelektronischer Bauelemente einschließlich Entwurfsregelprüfung
N2  - In diesem Projekt wird die Erstellung eines Satzes lithographischer Masken für die Halbleiterbearbeitung behandelt. Als Basis dient ein gut verstandenes Bauelement aus dem Bereich der Optoelektronik, eine Fotodiode. Diese wird im Rahmen des Diplomprojektes parametrisierbar entwickelt und entworfen sowie programmiert. Der Entwurf wird dann auf der Grundlage zu definierender Regeln einer Entwurfsregelprüfung unterzogen. Ziel dieser Arbeit ist es, die technologischen sowie funktionalen Regeln im Programm abzubilden.
KW  - Photodiode , Optoelektronisches Bauelement
Y1  - 2017
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-86101
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-86101
ER  -