@misc{Splittgerber2012, author = {Ralf Splittgerber}, title = {Validierung der Messf{\"a}higkeit eines Inline-R{\"o}ntgenfluoreszenzanalyse-Systems im industriellen Einsatz zur Charakterisierung metallischer D{\"u}nnschichten}, institution = {03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik}, year = {2012}, }