TY  - GEN
U1  - Sonstiges
A1  - Ziemons, Marco
T1  - Entwicklung eines Testplatzes zur Charakterisierung und Optimierung eines Galvanometerscanners für den Einsatz in einem refraktiven Laser
N2  - nicht vorhanden
KW  - Scanner
KW  - Galvanometer
KW  - Excimerlaser
Y1  - 2009
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-24108
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-24108
ER  -