@phdthesis{Viertel2018,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Tina Viertel},
  title     = {Untersuchungen zum r{\"u}ckseitigen Abtrag d{\"u}nner Aluminiumschichten auf Quarzglas mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-107372},
  year      = {2018},
  abstract  = {Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem selektiven r{\"u}ckseitigen Abtrag von d{\"u}nnen Aluminiumschichten (10 – 50 nm) auf Quarzglas mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung der Wellenl{\"a}nge von 1028 nm und Pulsdauern von 0,2 – 10 ps. Die Einfl{\"u}sse von Prozess- und Probenparametern auf die Abtragsschwellen und Inkubationskoeffizienten werden bestimmt. Ebenso wird ein Vergleich von Schwellfluenz und Inkubationskoeffizienten zwischen vorder- und r{\"u}ckseitigem Abtrag gegeben. Hierf{\"u}r werden die Werte des vorderseitigen Abtrag aus vorhergehenden Untersuchungen verwendet. Neben experimentellen Untersuchungen werden Berechnungen zur Bestimmung der theoretischen Schwellfluenzen durchgef{\"u}hrt. Mithilfe dieser Untersuchungen soll die Qualit{\"a}t der Strukturierung von Aluminiumschichten verbessert werden.},
  language  = {de}
}