TY  - THES
U1  - Master Thesis
A1  - Viertel, Tina
T1  - Untersuchungen zum rückseitigen Abtrag dünner Aluminiumschichten auf Quarzglas mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung
N2  - Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem selektiven rückseitigen Abtrag von dünnen Aluminiumschichten (10 – 50 nm) auf Quarzglas mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung der Wellenlänge von 1028 nm und Pulsdauern von 0,2 – 10 ps. Die Einflüsse von Prozess- und Probenparametern auf die Abtragsschwellen und Inkubationskoeffizienten werden bestimmt. Ebenso wird ein Vergleich von Schwellfluenz und Inkubationskoeffizienten zwischen vorder- und rückseitigem
Abtrag gegeben. Hierfür werden die Werte des vorderseitigen Abtrag aus vorhergehenden Untersuchungen verwendet. Neben experimentellen Untersuchungen werden Berechnungen zur Bestimmung der theoretischen Schwellfluenzen durchgeführt. Mithilfe dieser Untersuchungen soll die Qualität der Strukturierung von Aluminiumschichten verbessert werden.
KW  - Dünne Schicht
KW  - Ultrakurzzeitlaser
KW  - Laserablation
KW  - Aluminium
Y2  - 2018
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-107372
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-107372
ER  -