@phdthesis{Buettner,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Sebastian B{\"u}ttner},
  title     = {Vergleich zweier Verfahren zur CO2-Lasergl{\"a}ttung von Mikrostrukturen in Quarzglas},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-37683},
  abstract  = {Die derzeit konventionellen Verfahren k{\"o}nnen f{\"u}r die Gl{\"a}ttung von mikrooptischen Elementen nicht eingesetzt werden. F{\"u}r das Material Quarzglas kann dies durch den Einsatz von CO2-Laserstrahlung realisiert werden. Durch das Erw{\"a}rmen des Materials {\"u}ber die Erweichungstemperatur hinaus, wird an der Oberfl{\"a}che eine d{\"u}nne Schicht aufgeschmolzen und die Oberfl{\"a}che zieht sich aufgrund der Oberfl{\"a}chenspannung glatt. Zum Gl{\"a}tten von Mikrostrukturen ist die Erw{\"a}rmung einer gr{\"o}{\"s}eren Fl{\"a}che n{\"o}tig, um eine m{\"o}glichst homogene Temperaturverteilung zu realisieren und damit auch eine homogene Gl{\"a}ttung. Die Gl{\"a}ttung kann mit zwei Verfahren realisiert werden, einerseits durch den Einsatz einer Zylinderlinse und andererseits durch einen Scanner. Beide Verfahren liefern Ergebnisse die nur in sehr geringem Ma{\"s}e voneinander abweichen. Bezogen auf Prozesszuverl{\"a}ssigkeit ist das Scanner-Verfahren besser steuerbar, aber weitaus nicht so schnell wie das Zylinderlinsen-Verfahren.},
  language  = {de}
}