TY  - THES
U1  - Bachelor Thesis
A1  - Büttner, Sebastian
T1  - Vergleich zweier Verfahren zur CO2-Laserglättung von Mikrostrukturen in Quarzglas
N2  - Die derzeit konventionellen Verfahren können für die Glättung von mikrooptischen Elementen nicht eingesetzt werden. Für das Material Quarzglas kann dies durch den Einsatz von CO2-Laserstrahlung realisiert werden. Durch das Erwärmen des Materials über die Erweichungstemperatur hinaus, wird an der Oberfläche eine dünne Schicht aufgeschmolzen und die Oberfläche zieht sich aufgrund der Oberflächenspannung glatt. Zum Glätten von Mikrostrukturen ist die Erwärmung einer größeren Fläche nötig, um eine möglichst homogene Temperaturverteilung zu realisieren und damit auch eine homogene Glättung. Die Glättung kann mit zwei Verfahren realisiert werden, einerseits durch den Einsatz einer Zylinderlinse und andererseits durch einen Scanner. Beide Verfahren liefern Ergebnisse die nur in sehr geringem Maße voneinander abweichen. Bezogen auf Prozesszuverlässigkeit ist das Scanner-Verfahren besser steuerbar, aber weitaus nicht so schnell wie das Zylinderlinsen-Verfahren.
KW  - Glättung <Oberflächenbehandlung>
KW  - Kohlendioxidlaser
Y2  - 2013
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-37683
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-37683
ER  -