@phdthesis{Kratsch2014, type = {Master Thesis}, author = {Alexander Kratsch}, title = {Berechnung und Untersuchung von diffraktiven und refraktiven optischen Elementen zur F{\"u}hrung und Formung von Femtosekunden-Laserstrahlung im Zuge der Maskenprojektion}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949}, year = {2014}, abstract = {In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion m{\"o}glich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zus{\"a}tzlich werden erste Abtragsversuche durchgef{\"u}hrt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden.}, language = {de} }