@phdthesis{Pabst,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Linda Pabst},
  title     = {Untersuchungen zur Mikrostrukturierung von spintronischen Nanometerschichtstapeln mittes UV-Laserstrahlung},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-22495},
  abstract  = {Die vorliegende Arbeit befasst sich mit Untersuchungen zur Laserstrukturierung von spintronischen Schichtstapeln. Die Strukturierung erfolgt dabei mittels UVLaserstrahlung einer Wellenl{\"a}nge von 355 nm und einem direktschreibenden Verfahren. Um die notwenigen Laserfluenzen f{\"u}r die Strukturierung abzusch{\"a}tzen werden Untersuchungen zur Abtragsschwelle des Schichtstapels gemacht. Es wurden die Einfl{\"u}sse der Laserparameter auf die Bearbeitungsqualit{\"a}t und die erreichbaren Strukturbreiten experimentell untersucht. Die Laserstrukturierung soll die Funktionalit{\"a}t des spintionischen Schichtstapels nicht beeinflussen, das wurde durch eine Nano-Moke Messung {\"u}berpr{\"u}ft.},
  language  = {de}
}