TY  - THES
U1  - Bachelor Thesis
A1  - Pabst, Linda
T1  - Untersuchungen zur Mikrostrukturierung von spintronischen Nanometerschichtstapeln mittes UV-Laserstrahlung
N2  - Die vorliegende Arbeit befasst sich mit Untersuchungen zur Laserstrukturierung von spintronischen Schichtstapeln. Die Strukturierung erfolgt dabei mittels UVLaserstrahlung einer Wellenlänge von 355 nm und einem direktschreibenden Verfahren. Um die notwenigen Laserfluenzen für die Strukturierung abzuschätzen werden Untersuchungen zur Abtragsschwelle des Schichtstapels gemacht. Es wurden die Einflüsse der Laserparameter auf die Bearbeitungsqualität und die erreichbaren Strukturbreiten experimentell untersucht. Die Laserstrukturierung soll die Funktionalität des spintionischen Schichtstapels nicht beeinflussen, das wurde durch eine Nano-Moke Messung überprüft.
KW  - Laser
KW  - Laserbearbeitung
Y2  - 2011
U6  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-22495
UN  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-22495
ER  -