@misc{Bertram2009,
  author    = {Bertram, Ren{\´e}},
  title     = {Fluorlaser-Mikrobearbeitung von ausgew{\"a}hlten Materialien},
  institution = {03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik},
  year      = {2009},
  abstract  = {nicht vorhanden},
  subject      = {Lithographie <Halbleitertechnologie>},
  language  = {de}
}