@phdthesis{Klewer,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Christian Klewer},
  title     = {Charakterisierung von mechanischen Spannungen und Defekten an„Through-Silicon-Via“-Strukturen},
  url       = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-16248},
  abstract  = {Diese wissenschaftliche Arbeit befasst sich mit ersten oberfl{\"a}chennahen Spannungsuntersuchungen an TSV-Teststrukturen mittels \&\#956;-Raman-Spektroskopie. Es werden verschiedene Ursachen der Spannungen identifiziert. Zus{\"a}tzlich wird die Beeinflussung des Spannungszustandes durch eine W{\"a}rmebehandlung bei Temperaturen von \&\#8804;380°C untersucht. Des Weiteren wird die Tiefenabh{\"a}ngigkeit der Spannungen diskutiert und eine Methode zur Erkennung von oberfl{\"a}chennahen Defekten und Delaminierungseffekten an TSVs entwickelt.},
  language  = {de}
}