@phdthesis{Tiemann, type = {Bachelor Thesis}, author = {Till Tiemann}, title = {Mechanische Eigenschaften von dotierten und undotierten ta-C Schichten}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-60341}, abstract = {Ziel der Arbeit ist die Analyse der mechanischen Eigenschaften von undotierten und mit stickstoffdotierten ta-C Schichten. Zudem werden Biegeproben gebogenund die Auswirkungen auf die Schicht untersucht. Des Weiteren werden Fr{\"a}ser mit ta-C beschichtet und die Ver{\"a}nderung des Standweges mit anders beschich-teten Fr{\"a}sern verglichen.}, language = {de} }