@phdthesis{Uhle2014, type = {Master Thesis}, author = {Holger Uhle}, title = {Geometrische und mikrostrukturelle Bewertung von strukturierten S{\"a}gedr{\"a}hten zur Herstellung von Siliziumwafern}, year = {2014}, abstract = {In der vorliegenden Masterarbeit wird ein Messaufbau entwickelt, der es erm{\"o}glicht,einen mit zwei verschiedenen sinusf{\"o}rmigen Wellenmustern gepr{\"a}gten Draht in einem Messsystem gemeinsam mit einer Kraftmessdose einzuspannen. Weiterhin wird ein Python-Programm erstellt, dass es erm{\"o}glicht die Messdaten vollautomatisch auszuwerten und den Drahtdurchmesser sowie die bei der Pr{\"a}gung eingebrachten Wellenl{\"a}ngen und Amplituden zu bestimmen. Der Durchmesser wird durch eine N{\"a}herung von Kreisen an Querschnitte des Drahts bestimmt. Die Parameter der Sinusfunktionen berechnet eine Fourieranalyse in zwei Ebenen {\"u}ber die Mittelpunkte der Kreise. Abschlie{\"s}end wird das Programm mit simulierten Daten getestet und eine Messreihe ausgewertet, die das Verhalten der Parameter des Drahts bei unterschiedlichen Zugkr{\"a}ften analysiert.}, language = {de} }