@phdthesis{Nissel,
  type      = {Bachelor Thesis},
  author    = {Jana Nissel},
  title     = {Untersuchung zur laserinduzierten Erzeugung von Kavit{\"a}ten in Silizium},
  abstract  = {Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten Kavit{\"a}ten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer Wellenl{\"a}nge von 1064 nm. Dabei werden modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse unter Variation der Pulsenergie, Pulsdauer und Pulsabstand im Inneren von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln, wo eine Dichteumformung bis hin zur Erzeugung von Kavit{\"a}ten ohne innerliche und {\"a}u{\"s}erliche Besch{\"a}digung des Siliziumwafers stattfindet.},
  language  = {de}
}