TY  - THES
U1  - Bachelor Thesis
A1  - Nissel, Jana
T1  - Untersuchung zur laserinduzierten Erzeugung
von Kavitäten in Silizium
N2  - Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten 
Kavitäten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer 
Wellenlänge von 1064 nm.  Dabei werden  modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse  unter Variation der Pulsenergie,  Pulsdauer  und Pulsabstand  im Inneren 
von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln, 
wo eine Dichteumformung  bis hin zur Erzeugung von Kavitäten ohne innerliche 
und äußerliche Beschädigung des Siliziumwafers stattfindet.
KW  - Silicium
KW  - Wafer
KW  - Laserstrahlung
Y2  - 2016
ER  -