@mastersthesis{Voigt2019,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Voigt, Sebastian},
  title     = {Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten},
  institution = {Ingenieurwissenschaften},
  year      = {2019},
  abstract  = {Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation f{\"u}r eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgef{\"u}hrt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.},
  subject      = {Schichtdicke},
  language  = {de}
}