TY  - THES
U1  - Abschlussarbeit (Master)
A1  - Voigt, Sebastian
T1  - Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten
N2  - Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.
KW  - Schichtdicke
KW  - Kohlenstoff
KW  - Dünne Schicht
Y2  - 2019
ER  -