@inproceedings{Br{\"u}ningDuGillner2021,
  author    = {Br{\"u}ning, Stephan and Du, Keming and Gillner, Arnold},
  title     = {Großfl{\"a}chige ultraschnelle Mikrobearbeitung mit multiplen Laserspots},
  booktitle = {12. Mittweidaer Lasertagung},
  number    = {003},
  organization    = {Schepers GmbH \& Co. KG Vreden},
  issn      = {1437-7624},
  doi       = {10.48446/opus-12856},
  pages     = {048 -- 055},
  year      = {2021},
  abstract  = {Ultrakurzpuls-Laser haben sich in den vergangenen Jahren weit verbreitet, um hochpr{\"a}zise Mikrostrukturen direkt in nahezu jedem Material zu realisieren. Trotz der derzeitigen Verf{\"u}gbarkeit von UKP-Hochleistungslasern (bis zu mehreren hundert Watt) ist es immer noch eine Herausforderung, große Fl{\"a}chen, wie sie f{\"u}r Pr{\"a}gezylinder f{\"u}r Rolle-zu-Rolle Anwendungen ben{\"o}tigt werden, in einer f{\"u}r die industrielle Produktion akzeptablen Bearbeitungszeit zu strukturieren. In diesem Beitrag wurde ein hochkompakter ps-Laser mit Repetitionsraten von bis zu 8 MHz und einer mittleren Leistung von 500 W durch ein diffraktives optisches Element (DOE) auf 16 parallele Strahlen verteilt. Die Leistung wurde durch einen akusto-optischen Modulator pro Strahl moduliert. Integriert in ein ultrahochpr{\"a}zises Zylindergravursystem wurden die 16 Spots mit einer Genauigkeit von < 1 μm synchronisiert. Auf der Zylinderoberfl{\"a}che wurden in einem Spot-zu-Spot Abstand von 20 μm Einzelspotdurchmesser von 13 μm erreicht. Verschiedene funktionale Mikrostrukturen wurden als Master realisiert.},
  subject      = {Nanopr{\"a}gen},
  language  = {de}
}