@mastersthesis{Rebentrost2021,
  type      = {Master Thesis},
  author    = {Rebentrost, Philipp},
  title     = {Untersuchungen zur Laserstrukturierung mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung im Burstmodus mit Variation der Pulsanzahl sowie des zeitlichen Burstpulsabstandes},
  institution = {Ingenieurwissenschaften},
  year      = {2021},
  abstract  = {Die Zielstellung dieser Arbeit besteht darin, einen optischen Aufbau zu realisieren, welcher mit m{\"o}glichst wenigen optischen Komponenten einen einzelnen UKP - Laserpuls in einen 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst (dargestellt in Abbildung 3.1) zerlegt und anf{\"a}ngliche Untersuchungen zum Abtragsverhalten unter Verwendung des Burstmodus durchzuf{\"u}hren. Der zeitliche Burstpulsabstand zwischen jedem dieser Burstpulse soll dabei maximal 2 ns f{\"u}r den 2 - Puls Burst und 1 ns f{\"u}r den 4 - Puls Burst betragen, stufenlos einstellbar und zwischen jedem Burstpuls in einem Burst gleich sein. Das Einstellen der zeitlichen Burstpulsabst{\"a}nde wird f{\"u}r den 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst {\"u}ber unabh{\"a}ngig voneinander arbeitende Translationsachsen realisiert. Mithilfe dieses Aufbaus soll das Abtragsverhalten von UKP - Laserstrahlung eines Ti:Sa - Lasers mit einer Pulsdauer von ca. 150 fs und einer stufenlos regelbaren Pulsenergie von bis zu 1 mJ bei einer Repetitionsrate der Grundfrequenz von 1 kHz und einer mittleren Wellenl{\"a}nge von 780nm auf Silizium (111) durch die Variation von der zeitlichen Einbringung der Energie untersucht werden.},
  subject      = {Laserbearbeitung},
  language  = {de}
}