@inproceedings{SyrbeB{\"u}ttnerPfeiferetal.2023, author = {Syrbe, Eric and B{\"u}ttner, Sebastian and Pfeifer, Michael and Weißmantel, Steffen}, title = {Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion}, booktitle = {13. Mittweidaer Lasertagung}, number = {3}, organization = {Laserinstitut Hochschule Mittweida}, issn = {1437-7624}, doi = {10.48446/opus-14809}, pages = {95 -- 100}, year = {2023}, abstract = {Die Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser erm{\"o}glicht die Herstellung von Mikrooptiken in Gl{\"a}sern und anderen Materialien mit großer Energiebandl{\"u}cke. F{\"u}r die Strukturierung von Mikrolinsen haben wir eine neue Herstellungsmethode und den daf{\"u}r ben{\"o}tigen Experimentaufbau entwickelt. Der Prozess basiert auf dem Maskenprojektionsverfahren und nutzt eine Vielzahl unterschiedlicher Kreismasken, die nacheinander im Laserstrahlengang platziert werden, um einen ringf{\"o}rmigen Ablationsbereich zu formen. Durch die Verwendung eines entsprechend konzipierten Maskensatzes ist es m{\"o}glich, eine Oberfl{\"a}che mit einer definierten sph{\"a}rischen Form herzustellen. Es werden der gesamte Prozess, der Experimentaufbau sowie die Ergebnisse vorgestellt}, subject = {Fluorlaser}, language = {de} }