TY - CPAPER U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Syrbe, Eric A1 - Büttner, Sebastian A1 - Pfeifer, Michael A1 - Weißmantel, Steffen T1 - Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion T2 - 13. Mittweidaer Lasertagung N2 - Die Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser ermöglicht die Herstellung von Mikrooptiken in Gläsern und anderen Materialien mit großer Energiebandlücke. Für die Strukturierung von Mikrolinsen haben wir eine neue Herstellungsmethode und den dafür benötigen Experimentaufbau entwickelt. Der Prozess basiert auf dem Maskenprojektionsverfahren und nutzt eine Vielzahl unterschiedlicher Kreismasken, die nacheinander im Laserstrahlengang platziert werden, um einen ringförmigen Ablationsbereich zu formen. Durch die Verwendung eines entsprechend konzipierten Maskensatzes ist es möglich, eine Oberfläche mit einer definierten sphärischen Form herzustellen. Es werden der gesamte Prozess, der Experimentaufbau sowie die Ergebnisse vorgestellt KW - Fluorlaser KW - Mikrobearbeitung KW - Mikrooptik KW - Excimer Laser KW - Fresnellinsen Y1 - 2023 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-148097 SN - 1437-7624 SS - 1437-7624 U6 - https://doi.org/10.48446/opus-14809 DO - https://doi.org/10.48446/opus-14809 IS - 3 SP - 95 EP - 100 S1 - 6 PB - Hochschule Mittweida CY - Mittweida ER -