TY  - THES
A1  - Schille, Marco
T1  - Technologieentwicklung für die Polyimidbeschichtung von Piezo-Stacks
N2  - nicht vorhanden
KW  - Beschichtung
KW  - Polyimide
Y1  - 2012
U6  - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-49386
ER  -