TY - THES A1 - Kratsch, Alexander T1 - Berechnung und Untersuchung von diffraktiven und refraktiven optischen Elementen zur Führung und Formung von Femtosekunden-Laserstrahlung im Zuge der Maskenprojektion T1 - Computation and analysis of diffraktive and refraktive optical elements for guidance and shapeing of femtosecound-laserradiation in the course ofMaskprojection N2 - In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion möglich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zusätzlich werden erste Abtragsversuche durchgeführt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden. KW - Femtosekundenlaser KW - Strahlformung Y1 - 2013 U6 - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949 ER - TY - THES A1 - Kratsch, Alexander T1 - Glätten von Mikrostrukturen in Quarzglas mittels CO2-Laser T1 - CO2 laser smoothing of microstructured fused silica N2 - In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Glättung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfläche durch die Verwendung von Laserstrahlung möglich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen KW - Kohlendioxidlaser Y1 - 2011 U6 - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-18500 ER -