TY  - THES
A1  - Kratsch, Alexander
T1  - Glätten von Mikrostrukturen in Quarzglas mittels CO2-Laser
T1  - CO2 laser smoothing of microstructured fused silica
N2  - In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Glättung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfläche durch die Verwendung von Laserstrahlung möglich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen
KW  - Kohlendioxidlaser
Y1  - 2011
U6  - http://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-18500
ER  -