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Laserpulsabscheidung und Charakterisierung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten unter Variation einflussnehmender Prozessparameter

Pulsed laser deposition of superhard amorphous carbon thin films dependent on a variation of influencing parameters

  • Im Rahmen der Masterarbeit wurden Beschichtungsversuche zur Erzeugung von superharten Kohlenstoffschichten, unter Variation einflussnehmender Prozessparameter durchgeführt, um den Einfluss dieser auf das Beschichtungsergebnis zu evaluieren. Die Experimente wurden mit einem Eximerlaser der Firma Coherent durchgeführt. Es wurden Kohlenstoffschichten erzeugt und anschließend mit verschiedenen Analysemethoden charakterisiert, um Erkenntnisse hin-sichtlich der Schichtzusammensetzung zu gewinnen. Im Vordergrund standen hierbei die Schichthärte, sowie die Ergebnisse aus den resultierenden Ramanspektren der Schichten, um Zusammenhänge zwischen den variierten Prozessparametern und resultierenden Schichtcharakteristika aufzuzeigen.

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Metadaten
Author:Marcel Wolf
Advisor:Steffen Weißmantel, Hagen Grüttner
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2018
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2019/11/28
GND Keyword:Kohlenstoff; Beschichtung; Impulslaserbeschichten
Institutes:Ingenieurwissenschaften
Dewey Decimal Classification:671.735 Impulslaserbeschichten
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG