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Laserprozessoptimierung zum hochdynamischen Abtragen dünner Schichten

Laser process optimization of highly dynamic thin film ablation

  • Die Masterarbeit leistet einen Beitrag zur Effizienzsteigerung des Laserabtragsprozesses zur sicheren elektrischen Trennung des P1 – Strukturierungsgrabens einer Dünnschichtsolarzelle. Die Strukturierung des P1 Grabens bildet einen Teilprozess der seriellen Verschaltung von Dünnschichtsolarzellen. Entgegen dem Stand der Technik wird der Abtrag von der Schichtseite realisiert. Anhand der Darstellung der Anforderungen an die Strukturierung werden vergleichend ein Nanosekunden- und ein Pikosekundenlaser auf Eignung untersucht.

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Metadaten
Author:Lars Wendler
Advisor:Udo Löschner, Christian Endisch
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2014
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2020/02/19
GND Keyword:Laserablation; Dünne Schicht; Solarzelle
Note:
Sperrvermerk am 19.02.2020 aufgehoben
Institutes:01 Elektro- und Informationstechnik
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG