Fluorlaser-Mikrobearbeitung von ausgewählten  Materialien

Metadaten
Author:	René Bertram
URN:	urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-592
Advisor:	Weißmantel, Hähnel
Document Type:	Diploma Thesis
Language:	German
Date of Publication (online):	2009/10/05
Release Date:	2009/10/05
GND Keyword:	Lithographie <Halbleitertechnologie>; Fluorlaser
Institutes:	03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
DDC classes:	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Open Access:	Frei zugänglich
Licence (German):	Urheberrechtlich geschützt