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Untersuchung eines Verfahrens zur Überwachung eines Dünndrahtbondprozesses in der Drucksensorfertigung

  • Diese Arbeit beschäftigt sich mit einem Prüfverfahren zur Qualitätskontrolle von Draht-bondverbindungen eines Drucksensors. Dabei sollen die Bondverbindungen zerstört werden, die den Qualitätsanforderungen nicht entsprechen können. Hauptaugenmerk liegt auf der Prozessabsicherung der Dünndrahtbondverbindung, bei der das Verfahren der Stickstoffimpulsprüfung ein wesentlicher Bestandteil ist. Diese Prüfung wurde mittels Versuchen und Berechnungen zur Funktionsgrenze analysiert und ausgewertet. In einem Exkurs wird das Bonden auf einem laserdirektstrukturiertem MID getestet und mittels der Stickstoffimpulsprüfung und einem zerstörenden Pulltest analysiert.

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    Diplomarbeit

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Metadaten
Author:Stephan Marofsky
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-45868
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2014/11/06
Release Date:2014/11/06
GND Keyword:Drahtbonden; Drucksensor; Prüftechnik
Institutes:02 Maschinenbau
Dewey Decimal Classification:620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG